石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纤维 销售电话 : 18071880998
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材料简介
Introduction
电熔石英材料，具有羟基含量低、纯度高、耐高温性能强等特性。
广泛应用于半导体行业作为扩散炉及CVD炉元件的材料。
Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.
电熔石英锭
电熔石英管
电熔石英棒
杂质含量
Chemical purity
FLH620L 杂质元素典型值 (ppm)
Al
13
B
＜0.01
Ca
0.6
Zr
1
Cu
＜0.01
Fe
0.5
K
0.4
Li
0.4
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.6
Ni
＜0.05
Ti
1.30
OH
＜30
FLH621 杂质元素典型值 (ppm)
Al
14.2
B
0.08
Ca
0.6
Zr
—
Cu
＜0.01
Fe
0.23
K
0.25
Li
0.44
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.12
Ni
＜0.05
Ti
1.30
OH
≤15
FLH621H 杂质元素典型值 (ppm)
Al
8.00
B
0.04
Ca
0.6
Zr
—
Cu
＜0.01
Fe
0.15
K
0.15
Li
0.15
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.08
Ni
＜0.05
Ti
1.40
OH
≤15
物理性能
Physical Property
力学性能
密度（g/cm³）
杨氏模量（GPa）
泊松比
抗弯强度（MPa）
抗压强度（MPa）
抗拉强度（MPa）
抗扭强度（MPa）
莫氏硬度
2.2
75
0.17
65-95
1100
50
30
6-7
电学性能
介电常数
介电损耗
电阻率（Ω.cm）
3.74
0.0001
1×1016
热学性能
应变点（η=1014.5 ℃）
退火点（η=1013 ℃）
软化点（η=107.8 ℃）
热导率(W/m·k)(20℃)
比热 (J/kg.k) (20℃)
热膨胀系数( x10 -7 /k)
α ： 20℃ ~ 320 ℃
1150
1215
1710
1.38
749
5.2-5.8
注：在没有另外说明的情况下，所有值均指在25 ℃以下。 Other sizes available upon requests.
光学性能
Optical properties
红外透过率曲线。 Infrared Transmittance Curve.
紫外透过率曲线。 Ultraviolet Transmittance Curve.
菲利华电熔石英材料
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